技术规格
仪器型号 | VMS-3020CNC | VMS-4030CNC | VMS-5040CNC | |
仪器参数 | ||||
测 | X | 300 | 400 | 500 |
Y | 200 | 300 | 400 | |
Z | 200 | 200 | 200 | |
工 | 承重 | 20kg | 20kg | 20kg |
影 | CCD | SONY系列1/3彩色相机 | ||
变焦物镜 | 手动变倍工业镜头 | |||
放大倍率 | 28-180X | |||
显示分辨率 | 0.5um | |||
重复性 | 2um | |||
线性精度(μm) | X/Y轴线性精度: (3+L/200)um | |||
照明 | 表面光源:LED表面冷光源; 底灯光源:LED平行轮廓冷光源 | |||
电源 | 220V ±10% 50/60HZ |